上海 [2005-10-06]
相助探索反向光刻印刷手艺(ILT)在天下级集成电路代工厂的应用
(山景城, 加州, 美国，上海，中国， 2005-10-4), 天下一流的集成电路代工厂沙巴官网入口 (“SMIC”; NYSE: SMI; HKSE: 981), 和光刻印刷增强手艺系统供应商朗明科技公司(Luminescent Technologies, Inc.)今天配合宣布将朗明科技的反向光刻印刷手艺(Inverse Lithography Technology)应用在沙巴官网入口的65纳米及以下手艺工艺的生产中。双方配合致力于将反向光刻印刷手艺应用于最先进的集成电路设计中。两家公司的相助始于将朗明科技所研发的“探索者”(ExplorerTM)光刻开发平台装置在沙巴官网入口的制造厂中。
“沙巴官网入口已经乐成地在光掩膜和硅片上展示了该手艺的优越性能，”沙巴官网入口逻辑手艺生长中心副总裁陈一浸博士说，“光刻印刷，尤其是光刻精度增强手艺（RET），是半导体制造恒久以来始终面临的挑战，近十年以来仅有少少实质性的刷新。沙巴官网入口为能支持立异性的手艺和制程来为客户提供最佳的解决计划而倍感自满和自豪。”
朗明科技首席执行官，David Fried，高度一定了沙巴官网入口在光刻手艺上的先锋精神，他说，“ 通过这个协议，沙巴官网入口起劲推进半导体制造手艺的生长同时拓展其营业并维护其竞争优势。在沙巴官网入口一流的生产情形里设置沙巴官网入口“探索者”产品，使得我们有时机与业界领先者配合开发先进的光刻印刷手艺。”
反向光刻印刷手艺是凭证在硅片上预期图形接纳数学要领严谨地盘算光掩膜板所需图形。这是比光刻精度增强手艺更严谨且更直接的光刻精度增强手艺 。朗明科技的反向光刻印刷产品是首个专为深度次波长(Deep Sub-wavelength) 时代开发的光刻天外行艺产品。具有图案印刷保真度高、有用缩短生产历程、缩短硅片产出时间等优势。且所有这一切均不会改变现有光刻印刷基础设施及从设计到硅片产出流程。
关于沙巴官网入口
沙巴官网入口 (NYSE: SMI, SEHK: 0981.HK)是天下领先的集成电路芯片代工厂之一，提供0.35微米到0.11微米及更先进工艺的芯片制造效劳。公司2000年建设以来，其位于上海及天津的四座8英寸芯片均已量产。另外，其位于北京的12英寸芯片厂也于2005年第一季度最先量产。沙巴官网入口还在美国、欧洲、日本等地设立了市场及客户服效劳处，在香港设立代表处，以更好地效劳于全球客户。沙巴官网入口致力于提供高品质的效劳，周全执行国际标准，现在已经通过了ISO9001认证、ISO/TS16949认证、OHSAS18001认证、TL9000认证、BS7799以及ISO14001认证。如需更多信息，敬请会见公司网站：http://www.smics.com.
关于朗明科技公司
朗明科技是一家为半导体工业提供光刻印刷手艺的公司。其反向光刻印刷手艺(ILT) 产品可以准确迅速地把设计意向酿成生产现实，并同时增进硅片图案印刷的保真度, 扩展光刻处置惩罚窗口(Process Window)及加速一次光刻乐成率。朗明科技公司是一家由硅谷著名危害投资公司支持的未上市公司，公司总部位于美国加利福尼亚州山景城。如需更多信息，敬请会见公司网站：http://www.luminescent.com.
关于朗明探索者(ExplorerTM)光刻开发系统
探索者，朗明科技的第一个光刻手艺平台，提供完整的反向光刻印刷手艺(ILT)适用于处置惩罚小规模的设计图案。用其天生的光掩膜在正常曝光条件和偏离正常曝光条件下都能印出很好的硅片图案；谕及感巫吹牟问刂乒赜诠饪淌忠罩霸焙苁侨菀资褂。产品还提供多样的光刻处置惩罚窗口剖析功效以及简朴易用的用户界面用于做光源优化和有关光刻的种种数值模拟试验。
相助探索反向光刻印刷手艺(ILT)在天下级集成电路代工厂的应用
(山景城, 加州, 美国，上海，中国， 2005-10-4), 天下一流的集成电路代工厂沙巴官网入口 (“SMIC”; NYSE: SMI; HKSE: 981), 和光刻印刷增强手艺系统供应商朗明科技公司(Luminescent Technologies, Inc.)今天配合宣布将朗明科技的反向光刻印刷手艺(Inverse Lithography Technology)应用在沙巴官网入口的65纳米及以下手艺工艺的生产中。双方配合致力于将反向光刻印刷手艺应用于最先进的集成电路设计中。两家公司的相助始于将朗明科技所研发的“探索者”(ExplorerTM)光刻开发平台装置在沙巴官网入口的制造厂中。
“沙巴官网入口已经乐成地在光掩膜和硅片上展示了该手艺的优越性能，”沙巴官网入口逻辑手艺生长中心副总裁陈一浸博士说，“光刻印刷，尤其是光刻精度增强手艺（RET），是半导体制造恒久以来始终面临的挑战，近十年以来仅有少少实质性的刷新。沙巴官网入口为能支持立异性的手艺和制程来为客户提供最佳的解决计划而倍感自满和自豪。”
朗明科技首席执行官，David Fried，高度一定了沙巴官网入口在光刻手艺上的先锋精神，他说，“ 通过这个协议，沙巴官网入口起劲推进半导体制造手艺的生长同时拓展其营业并维护其竞争优势。在沙巴官网入口一流的生产情形里设置沙巴官网入口“探索者”产品，使得我们有时机与业界领先者配合开发先进的光刻印刷手艺。”
反向光刻印刷手艺是凭证在硅片上预期图形接纳数学要领严谨地盘算光掩膜板所需图形。这是比光刻精度增强手艺更严谨且更直接的光刻精度增强手艺 。朗明科技的反向光刻印刷产品是首个专为深度次波长(Deep Sub-wavelength) 时代开发的光刻天外行艺产品。具有图案印刷保真度高、有用缩短生产历程、缩短硅片产出时间等优势。且所有这一切均不会改变现有光刻印刷基础设施及从设计到硅片产出流程。
关于沙巴官网入口
沙巴官网入口 (NYSE: SMI, SEHK: 0981.HK)是天下领先的集成电路芯片代工厂之一，提供0.35微米到0.11微米及更先进工艺的芯片制造效劳。公司2000年建设以来，其位于上海及天津的四座8英寸芯片均已量产。另外，其位于北京的12英寸芯片厂也于2005年第一季度最先量产。沙巴官网入口还在美国、欧洲、日本等地设立了市场及客户服效劳处，在香港设立代表处，以更好地效劳于全球客户。沙巴官网入口致力于提供高品质的效劳，周全执行国际标准，现在已经通过了ISO9001认证、ISO/TS16949认证、OHSAS18001认证、TL9000认证、BS7799以及ISO14001认证。如需更多信息，敬请会见公司网站：http://www.smics.com.
关于朗明科技公司
朗明科技是一家为半导体工业提供光刻印刷手艺的公司。其反向光刻印刷手艺(ILT) 产品可以准确迅速地把设计意向酿成生产现实，并同时增进硅片图案印刷的保真度, 扩展光刻处置惩罚窗口(Process Window)及加速一次光刻乐成率。朗明科技公司是一家由硅谷著名危害投资公司支持的未上市公司，公司总部位于美国加利福尼亚州山景城。如需更多信息，敬请会见公司网站：http://www.luminescent.com.
关于朗明探索者(ExplorerTM)光刻开发系统
探索者，朗明科技的第一个光刻手艺平台，提供完整的反向光刻印刷手艺(ILT)适用于处置惩罚小规模的设计图案。用其天生的光掩膜在正常曝光条件和偏离正常曝光条件下都能印出很好的硅片图案；谕及感巫吹牟问刂乒赜诠饪淌忠罩霸焙苁侨菀资褂。产品还提供多样的光刻处置惩罚窗口剖析功效以及简朴易用的用户界面用于做光源优化和有关光刻的种种数值模拟试验。
